简述 Briefly describe：
工作原理是在真空吸盘上高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
主轴旋转转速：0-6000rpm /s；
转速波动精度：±1rpm；
时间设定：0-1000s；
自动摆臂摆动速度：0-60°/s；
出液速度：0~100%（压力罐供液）；
管路数量：标配 2 路管路（1 路胶管，1 路化学去边液体管路）；
匀胶步数：10 steps；
配方存储：30 recipes；
匀胶均匀性：优于±2%；
真空吸附值：<-50kpa；
上下片方式：手动上下片；
晶片固定方式：真空吸附。
性能优势 Briefly describe：
1、吸盘材质：
PEEK 材质，有易清洗、轻便、耐腐蚀、无背面划伤的优势，同时还具有低温度传导、有一定柔韧性、真空吸附好等特点。
2、一次性载液池
专门研发了一次性载液池（PVC 材质），主要针对旋转光刻胶使得匀胶机载液池内壁有大量光刻胶残留的问题。一次性载液池安装简单，光刻胶积累一定程度就可以取出更换，省力、省事又省时，也避免频繁清洗匀胶机载液池内壁，减少了劳力，降低了成本。
应用领域 Application Fields：
MEMS、微流控芯片、集成电路、先进封装、LED、掩模版制造。
