简述 Briefly describe：
工作原理是在真空吸盘上高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
应用结果 Application results：
性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
转速：50~8000rpm，转速精度±1rpm，空载加速度1~10000rpm/s；（6英寸片最大转速不超过6000rpm）
均匀性：优于±2%；
可实现阶梯转速控制，最多可设定10段转速，时间设定：0~1000s；
可储存30个配方程序进行调用；
PEEK托盘：6寸；
PP腔体：一次性内衬。
性能优势 Briefly describe：
1、吸盘材质：
PEEK 材质，有易清洗、轻便、耐腐蚀、无背面划伤的优势，同时还具有低温度传导、有一定柔韧性、真空吸附好等特点。
2、一次性载液池
专门研发了一次性载液池（PVC 材质），主要针对旋转光刻胶使得匀胶机载液池内壁有大量光刻胶残留的问题。一次性载液池安装简单，光刻胶积累一定程度就可以取出更换，省力、省事又省时，也避免频繁清洗匀胶机载液池内壁，减少了劳力，降低了成本。
应用领域 Application Fields：
MEMS、微流控芯片、集成电路、先进封装、LED、掩模版制造。
