简述 Briefly describe：
全自动喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备，同时在厚胶涂覆和节省光刻胶方面有明显优势。喷头将光刻胶雾化成雾滴，溅到衬底表面，热板加热将溶剂蒸发，使树脂留在衬底表面，形成相对均匀的光刻胶覆盖。
应用结果 Application results：
性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
1、4组自动喷涂单元（SPARY COAT）
夹具吸盘(CHUCK)：
①可兼容6寸 ，最大兼容8寸；
②CHUCK金属材质，可加热（30℃~150℃）；
③吸附方式：边缘吸附。吸附区域：≤edge 6mm（边缘吸附区域在边缘6mm以内）；
④吸盘真空检测：数字显示；
⑤3组Lift pin。
夹具吸盘最大转速：1500 rpm；
夹具吸盘转速精度：±1rpm（10rpm~1500rpm）；
XYZ运动模组：
①X轴行程：300mm；重复定位精度：±0.01mm；
②Y轴行程：300mm；重复定位精度：±0.01mm；
③Z轴行程：150mm；重复定位精度：±0.01mm；
④XY轴插补最大扫描速度：400mm/s；
⑤Z轴最大速度100mm/s，喷头高度调节范围0-150mm。
夹具吸盘温度范围：30~150℃，温控精度：±1 ℃；
温度均匀性：优于1%；
光刻胶供应系统：喷头数量：1（<30cp），光刻胶出液量精度：±10%（1ml～5ml）；
光刻胶清洗系统：清洗系统（SOLVENT DISPENSE）1套，流量数字显示，可以调节；
喷头管路清洗系统：1套；
工作腔：被动排风控制系统、CPU排风检测、有机废液排放管、有机排风管、304钣金、漏液监测；
控制方式：上位机控制模式。
2、4组自动热板单元
热板吸盘：6寸，最大兼容8寸；
温度范围：60℃~250℃；
控制精度：最小调整量：0.1℃；
温度均匀性： ±0.5℃（50℃~120℃），±1℃（120.1℃~200℃）；
温控方式：温控仪PID算法；
监控报警：温度上下限监控；
PIN升降：电机控制pin的高度可通过配方调整；
工作腔：304不锈钢钣金；
控制方式：上位机控制；
顶针升降范围：0~30mm；
控制精度：0.1mm。
1、供液系统
种类：丙酮；
供液方式：压力罐；
TANK：2组20L容量压力罐。
4、1组寻边对中单元
对中尺寸：6寸晶圆，兼容8寸晶圆。
5、2组晶舟盒（Cassette模块）
容量：25片，6寸晶圆（兼容8寸晶圆）；
上样/卸载：检测晶圆盒状态；
索引器：记录晶圆位置。
性能优势 Briefly describe：
1、加热旋涂系统
采用高精度、高速度、低噪音的摆臂机械手带动滴胶管运动定位，晶圆通过主轴高精度伺服电机带动加热夹具旋转。自动升降上盖带有氮气管路。加热夹具采用硬质阳极氧化铝的真空吸附夹具，夹具的真空微槽道吸附晶圆于夹具上。夹具带有加热功能。
2、旋涂系统
采用高精度、高速度、低噪音的摆臂机械手带动滴胶管路运动定位，晶圆通过主轴高精度中空轴伺服电机带动夹具旋转。
3、低成本
全自动喷胶机可以降低人工成本和材料浪费，减少因为工人疲劳或情绪波动导致的工作误差，同时也可以降低设备的维护成本。
4、改善工作环境
手工涂胶作业时，工人需要接触胶水，而全自动喷胶机可以减少工人与胶水的直接接触，从而改善工作环境，降低职业病风险。
应用领域 Application Fields：
MEMS、微流控芯片、集成电路、先进封装、LED、掩模版制造。
