简述 Briefly describe：
全自动匀胶显影机集热板、冷板、匀胶、显影与一体，可实现全自动匀胶、显影的工艺。
应用结果 Application results：
性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
晶圆尺寸：4/6/8英寸圆片(可根据客户要求评估方片等尺寸)；
旋转方向：顺时针或逆时针；
旋转速度：1~5000rpm；
空载主轴最大加速度：1~10000rpm/s；
单步显影时间：0~1000s；
显影步数：10 steps。
性能优势 Briefly describe：
1、加热系统
采用高精度、高速度、低噪音的摆臂机械手带动滴胶管运动定位，晶圆通过主轴高精度伺服电机带动加热夹具旋转。自动升降上盖带有氮气管路。加热夹具采用硬质阳极氧化铝的真空吸附夹具，夹具的真空微槽道吸附晶圆于夹具上。
2、晶圆搬运系统
晶圆搬运系统包含晶圆框架盒、载片平台、对中装置等，模块化设计组装，方便调试与使用。
3、旋转系统
采用高精度、高速度、低噪音的摆臂机械手带动滴胶管路运动定位，晶圆通过主轴高精度中空轴伺服电机带动夹具旋转。夹具采用 PEEK 材质的真空吸附夹具，夹具的真空微槽道吸附晶圆于夹具上。
应用领域 Application Fields：
MEMS、IC。
