性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
1、Open Cassette或 Load Port
2进2出（可定制其他数量）；
支持4/6/8英寸。
2、阳极键合模块
晶圆尺寸：支持4/6/8英寸；
最大压力：30KN(100KN可选)；
极限真空度：1*10-3Pa；
温度：室温~450℃；
高压电源：0-2000V。
3、键合对准模块
预对准单元对准精度：≤±1μm；
键合完成后对准精度：≤±5μm。
4、设备支持SECS和GEM200标准协议
应用领域 Application Fields：
低真空器件、加速度传感器、压力传感器、微流控芯片。
