性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
主轴旋转转速：0-3000rpm；
转速精度：±1rpm；
晶圆尺寸：4/6/8/12寸晶圆；
化学液供液方式：压力罐供液；
摆臂摆动速度：0-60°/s；
出液速度可调：0~100%（压力罐供液）；
供液管路：标配 3 路管路（1 路去离子水，2 路化学液体管路）；
供气管路：标配 1 路管路（1 路氮气管路）
喷嘴类型：4 种喷嘴类型可选（柱形/扇形喷嘴，兆声喷头，二流体喷头）；
真空吸附值：<-50kpa；
上下片方式：手动上下片；
晶片固定方式：真空吸附；
可选 PVA 刷洗模组：1 组（滚轮刷洗和平刷刷洗可选）；
可选红外灯模组：1 组；
可选 FFU 模块：1 组。
性能优势 Briefly describe：
1、定制化程度高，可根据客户需求适配不同尺寸、厚度衬底的清洗，也可以定制化提供双面清洗方案；
2、集合了化学液清洗、兆声清洗、二流体清洗等多种清洗方式，可满足不同的清洗需求。
应用领域 Application Fields：
先进封装、MEMS传感器、光电子器件、微流控芯片、功率器件。
