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真空加热贴膜机

简述 Briefly describe:

真空贴膜机是微电子制造中的关键设备,其核心是利用真空环境和精准压力控制,将干膜(一种光刻胶薄膜)或其他膜无气泡、无褶皱地紧密贴合在各类基板(如电路板、晶圆)表面。

 

应用结果 Application results:

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性能指标介绍 Performance Metrics Introduction:

基片尺寸:4/6/8英寸;

加热温度:室温~150℃;

真空度:-100KPa。

 

性能优势 Briefly describe:

1、适用范围广

真空贴膜机采用加热系统和真空系统协同工作,可以实现膜片的快速均匀加热和真空环境下的无气泡固化,适用于多种类型的膜的贴附。

 

2、温控仪

真空贴膜机在贴膜过程中,通过真空吸附技术,使膜材料紧密贴合在产品表面,避免了气泡和褶皱的产生。

 

应用领域 Application Fields:

MEMS、微流控芯片、集成电路、先进封装、LED、掩模版制造。


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