简述 Briefly describe：
采用喷雾式剥离方法，衬底被真空吸附（或机械方式固定）于夹具上并旋转，剥离液通过喷头喷射到衬底上。剥离完成后先使用丙酮清洗喷头对衬底进行冲洗，然后使用去离子水清洗喷头对衬底进行冲洗，冲洗之后，提高衬底的旋转速度并开启氮气吹扫，将其甩干。
