显影原理 Development Principle：
喷淋式显影方法，样品被吸附于真空吸盘夹具上并旋转，显影液通过喷嘴喷射到样品上，喷嘴也在高精度的摆臂机械手的驱动下进行往复运动，保证喷雾能覆盖到所有样品范围，提高显影液的均匀性。显影完成后清洗喷嘴对样品进行冲洗，冲洗之后，气体吹扫将其吹干。
浸泡式显影方法，样品被吸附于真空吸盘夹具上静止或者慢速旋转，显影液通过喷嘴成柱状流到样品上，喷嘴一直处于样品中心位置，保证经流的显影液能覆盖到所有样品范围，提高显影液的均匀性。显影完成后清洗喷嘴对样品进行冲洗，冲洗之后，气体吹扫将其吹干。
性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
旋转方向：顺时针或逆时针；
转速：0-3000rpm；
转速波动精度：±1rpm；
自动摆臂摆动速度：0-60°/s；
显影时间：0~100s；
出液速度：0~100%（泵供液）；
管路数量：标配3路管路（2路液体，1路气体）；
显影步数：10 steps；
配方存储：30 recipes；
真空：-0.8bar~-0.6bar；
晶片固定方式：真空吸附；
上下片方式：手动上下片。
应用领域 Application Fields：
MEMS、微流控芯片、集成电路、先进封装、LED、掩模版制造。
