简述 Briefly describe：
样品被真空吸附（或机械方式固定）于夹具上并旋转，显影液通过显影喷头喷射到样品上。显影完成后通过清洗液喷头对样品进行冲洗，冲洗之后，提高样品的旋转速度并开启氮气吹扫，将其甩干。
应用结果 Application results：
性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
基片尺寸：≤6英寸圆片，其他尺寸可定制(可根据客户要求评估方片等尺寸)；
转速：0~2000rpm；
液体管路：2路液体管路(显影液一路、清洗液一路)；
吹扫管路：一路；
腔体材料：PP耐腐蚀腔体；
电控压力调节；
触摸屏操作。
性能优势 Briefly describe：
1、显影托盘可定制。
2、真空吸附系统带防漏液装置。
3、显影液及清洗液为 2 路独立的液体管路，防止显影液和清洗液互相污染。
4、程序中有配方、运行数据、操作日志等模块，简便易操作。
应用领域 Application Fields：
MEMS、微流控芯片、集成电路、先进封装、LED、掩模版制造。
