简述 Briefly describe：
采用喷淋式显影方法，样品被吸附于真空吸盘夹具上并旋转，显影液通过喷头喷射到样品上，喷头也在高精度机械手的驱动下进行往复运动，保证液滴能覆盖到所有样品范围，提高显影的均匀性。显影完成后清洗喷头对样品进行冲洗，冲洗之后，气体吹扫将其吹干。
