简述 Briefly describe：
采用喷淋式显影方法，样品被吸附于真空吸盘夹具上并旋转，显影液通过喷头喷射到样品上，喷头也在高精度机械手的驱动下进行往复运动，保证液滴能覆盖到所有样品范围，提高显影的均匀性。显影完成后清洗喷头对样品进行冲洗，冲洗之后，气体吹扫将其吹干。
性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
基片尺寸：4/6英寸圆片衬底或其他尺寸衬底(可根据客户要求评估方片等尺寸)；
腔体材料：SUS304耐腐蚀腔体；
最高转速：0~2000rpm(±1rpm)；
液体管路：2路液体管路(显影液、清洗液)，1路氮气吹扫(正面吹扫)；
喷头：多喷头自动切换；
操作：触摸屏操作；
手动式压力调节；
可实现阶梯转速控制，最多可设定10段转速，时间设定：0~100s；
可储存30个配方程序进行调用。
性能优势 Briefly describe：
1、显影托盘可定制。
2、真空吸附系统带防漏液装置。
3、显影液及清洗液为 2 路独立的液体管路，防止显影液和清洗液互相污染。
4、程序中有配方、运行数据、操作日志等模块，简便易操作。
应用领域 Application Fields：
MEMS、微流控芯片、集成电路、先进封装、LED、掩模版制造。
