性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
尺寸：方形350mm*350mm向下兼容；
温度范围：室温-300℃；
温度均匀性：±2%；
顶针高度：0-20mm可调；
Lift pin 定时取片与吸附加热功能；
含不锈钢保温盖；
性能优势 Briefly describe：
1、温度多段可编程
支持设定阶梯温度值30个、单个阶段定时最长可达10小时（600分钟）。可精确控制升温速率、目标温度，适用于复杂热处理工艺。
2、热均匀性
加热器为定制的大尺寸加热器，加热快、热均匀性好。隔热层可以隔绝大部分由加热器产生向下的热传导，防止外壳温度过高。
应用领域 Application Fields：
MEMS。
