简述 Briefly describe：
立式喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备，同时在厚胶涂覆和节省光刻胶方面有明显优势。喷头将光刻胶雾化成雾滴，溅到衬底表面，热板加热将溶剂蒸发，使树脂留在衬底表面，形成相对均匀的光刻胶覆盖。
应用结果 Application results：
性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
喷胶范围：4/6英寸圆片衬底(可根据客户要求评估方片等尺寸)；
喷胶厚度均匀性：<10%@5μm；
喷胶结构深宽比：如果通孔直径<50μm，深宽比3:1；如果通孔直径50μm<X<100μm，深宽比7:1；如果通孔直径＞100μm，深宽比10:1；
热板温度范围：常温~125℃；
吸附真空：-50KPa~-70KPa；
温度均匀性：优于1%。
性能优势 Briefly describe：
1、喷涂
喷涂模式可编程，喷头高度可调整。
2、加热系统
采用铝制加热板与薄膜式加热器，导热好，均匀性好。通过热电偶测量温度的精度高，反应快，来反馈实时温度，以达到精准的温度控制。
3、运动模组系统
采用龙门式，高精度，高速度，低噪音的松下伺服电机带动高精度丝杆模组和滑块模组运动，最大手臂移动速度为400mm/s（手动 Z 轴非龙门式结构）。
4、定制喷胶机
可定制其他规格的喷胶机，如球型喷胶机、倒置喷胶机等。
5、吸盘系统
采用铝制微孔真空吸附板，可更换不同吸附范围的真空吸板，并与加热板紧密贴合，以保证精准的喷胶所需的温度。
应用领域 Application Fields：
MEMS、微流控芯片、集成电路、先进封装、LED、掩模版制造。
