简述 Briefly describe：
对准的主要原理是显微镜不动，通过实时显示图形、存储图形以及调整承片台位置，来完成衬底的对准。
应用结果 Application results：
性能指标介绍 Performance Metrics Introduction：
样品尺寸：4/6/8英寸圆片(可根据客户要求评估方片等尺寸)；
对准精度：+2μm。
1、工作台位移指标
X轴电动平移台：行程+10mm，重复定位精度+0.3um；
Y轴电动平移台：行程+10mm，重复定位精度+0.3um；
角度电动旋转台：粗调角度+10°，微调角度+0.003°；
电动升降台：行程50mm，导程1.58mm，重复定位精度3um。
2、视觉系统指标
工业镜头：分辨率3.7um，同轴点光源(黄光)；
工业相机：传感器尺寸1/2.5"，采集速度15帧/s。
X轴电动平移台：行程+25mm；
Y轴电动平移台：行程+15mm；
Z轴电动平移台：行程+6mm。
性能优势Briefly describe：
1、六点对称夹持键合对准夹具
用于固定和夹持通过光学系统已对准完成的两片晶圆。其结构由空心夹具体、三组夹爪装置和三组垫片装置组成。垫片和夹爪等间距六点对称分布，晶圆受力更平衡。
2、夹具支撑板组件
用于装载和固定键合对准夹具，作为键合对准的基准平台，同时使用电动与气动零件来推拉夹具上的垫片组件和夹爪组件，完成自动控制键合对准的过程。
3、大理石防震台
大理石平台的热膨胀系数低，环境温度的波动对于平台尺寸和形状的影响小，确保长时间工作的稳定性。
4、WEC
具备晶圆找平系统，且晶圆找平系统压力可调。
应用领域 Application Fields：
SU8模版、微流控芯片。
